第398章 又一个世界第一,CZ-G12-02
果生产14英寸的单晶硅棒,晶圆纯度偏低一些,最佳尺寸就是12英寸。
但拥有这个设备,已经表示星海集团具备批量生产14英寸晶圆的水平。
最大熔料量1200kg,跟主流的12寸单晶炉熔料量1000kg并没有多大的提升,这点并不重要,想搞再大就把设备做大点也可以,但后期加工就非常麻烦,能耗会更大,没必要。
1000kg的12英寸单晶硅棒有多长?
单晶硅密度是2.32—2.34克/立方厘米,如果是12英寸,即直径3。(本章未完!)
第398章又一个世界第一,CZ-G12-02
面积为706.!每厘米厚度的单晶硅重量就为1646克,即1.646KG!www.sxjxsc.com
一米长就为164.46KG,如果不考虑损耗,一吨熔料最多可制造长度为6米长单晶硅棒。苏丹小说网
但实际上,一般能做成四五米长就很厉害了而且,太长了加工会比较费事。
当然,它有个好处就是利用率用高一些,这是因为单晶硅棒的端头并不是平整的,而是锥面,就存在材料浪费。
当然,相对于整根单晶硅棒来说,这点损失并不算什么。
除了单晶硅的直径尺寸之外,还有一个核心指标,即单晶硅的纯度!
一般晶圆纯度要求:99.999%以上。
实际上,晶圆的制造工艺倒不是很复杂,其难度在于半导体产品对晶圆的纯度要求很高,实际纯度需要达到99.999999999%(9个9)或以上。
也许会有人问,干嘛要达到这么离谱的纯度?
难道99.999%还不行?
纯度=质量/总质量x100%
假如纯度是99.999999%,即一吨单晶硅里面含有1克杂质,大概是一根12英寸几米长的单晶硅棒里含有1克杂质。
1克杂质它不是集中在一个区域,它多半是分散。
如果只是集中在一块芯片上,那根本不用担忧,直接报废这一块芯片就行了。
问题是,你不知道这些杂质如何分布。
假如这一块芯片上的电路上刚好有杂质,就跟一条高速公路上突然发生塌陷了,那它就影响整条高速地运行,甚至没法运行,直接报废。因此,这也是为什么晶圆要求纯度高,如果纯度只有99.5%,说不定整个单晶硅棒都不能使用,芯心报废率就非常高。
而且,半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此需要进一步提纯。
沐阳把资料吸收之后,感觉有些疲惫,回屋里休息。
第二天,沐阳就开始到103楼输出CZ—G12—02的资料。
忙碌了十来天时间,沐阳才把设备制造资料输出完毕,像制造工艺这些资料,只能慢慢来。CZ—G12—02设备谈不上很复杂,核心是单晶炉,沐阳把它分为9个小项目设备。
晶圆生产在星海集团是新领域,沐阳已经给星云团队半年时间,让他们琢磨出世界顶尖的晶圆制造技术那是不可能的。
要是可以,国内早就批量生产出12英寸晶圆设备了。@精华\/书阁*首发更新~~
当然,也许设备好搞,但制造工艺更重要,搞不懂工艺,搞出设备也没用。
况且,CZ—G12—
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