第178章 后续
够超越这种极限，使得芯片能够集成更多的功能。
极紫外光源一般为了满足工业生产的需要，必须具备足够高的带内极紫外辐射功率以及污染少的收集系统，以保证系统的长期稳定运行。
光源的获得主要有同步辐射源，放电等离子体（dpp）、激光等离子体（lpp）三种途径。
其中，同步辐射源最优，不需要周期性地替换关键部件或燃料靶材，对光学元件无碎屑无污染。
但造价昂贵，灵活性差，一定程度上很难在商业上应用。
放电等离子体和激光等离子体皆可形成极高的温度环境，产生高温等离子体发射，从而辐射出高强度的极紫外光。
但其中dpp的造成的污染问题比lpp要严重一些，所以自然限制了其应用。
….不过在许黎看来，既然两者都会产生一定的污染问题，那在他心中最为理想的就是同步辐射源了。
只是需要克服灵活性、成本高这些难题，那就要简化其中一些东西，要不然会增加一定的成本。
现在自己也是两眼一抹黑，光学类的技术除了蜂巢复眼技术后就没有了，现在只好先慢慢摸索了。
徐华在知道许黎的想法后，眉头不由得微微一皱。
“校长，可是这同步辐射源却是有不少问题，如果是实验室阶段还好，但是以后考虑投产的话，那就需要将成本降下，为此需要从系统结构设计方面入手。”
“这个我知道，这样吧，现在我也没有什么头绪，你们之后各自去查找一下资料吧，一个星期后我们再开会讨论一下。”
“好。”
许黎暂时先让研究人员们先去搜集相关资料，看看到时候有没有人有别样的构想。
在暂时放下euv光源这件事后，许黎就搭车回了学校。
“是不是该配辆车找个司机了，不然每次出门都要打车也是挺麻烦的。”
到了校门口后，许黎忽然有了想法。
毕竟他也没买车，一般出远门都是打车去高铁或坐飞机，但是现在不太一样了。
他需要在学校、公司、实验室